ICP－MS全稱是電感耦合等離子體質譜儀 ，它是一種將ICP技術和質譜結合在一起的分析儀器 。ICP利用在電感線圈上施加的強大功率的高頻射頻信號在線圈內部形成高溫等離子體 ，並通過氣體的推動 ，保證了等離子體的平衡和持續電離 ，在ICP－MS中 ，ICP起到離子源的作用 ，高溫的等離子體使大多數樣品中的元素都電離出一個電子而形成了一價正離子 。質譜是一個質量篩選和分析器 ，通過選擇不同質核比（m/z）的離子通過來檢測到某個離子的強度 ，進而分析計算出某種元素的強度 。
　　電感耦合等離子體質譜儀是一種靈敏度非常高的元素分析儀器 ，可以測量溶液中含量在ppb或ppb以下的微量元素 ，被廣泛應用於半導體 、地質 、環境以及食品檢測等行業中 。
　　電感耦合等離子體質譜儀日常維護
　　1 、進樣係統-霧化器
　　(1)由於霧化器中心的毛細管口徑非常小 ，要求樣品要溶解的徹底 ，不得含有沉澱或漂浮物 ，如果有少量沉澱要用濾膜進行過濾 ，否則容易堵塞霧化器 。
　　(2)在用普通進樣係統時 ，不得含有HF或氟化物 ，否則容易損壞矩管和霧化器 ，如果需要分析此類樣品 。需更換耐HF進樣係統 。
　　2 、進樣係統–霧化室和蠕動泵
　　(1)霧化室一般很少出現問題 ，基本屬於免維護部件。
　　(2)蠕動泵部分主要是泵管長期受到擠壓和磨損容易消耗 ，所以當上機結束後要將泵夾鬆開以延長泵管的使用壽命 。
　　3 、離子源–矩管
　　(1)矩管是ICP-MS中比較容易積碳和積鹽的位置 ，如果發生堵塞 ，可以將堵塞部位浸入濃硝酸中煮沸 。
　　(2)如果矩管的氣體連接管周圍變為黃褐色 ，這主要是有機物沉澱（氣體管路中的增塑劑在高溫下流失） ，對儀器性能沒有影響 。可以將矩管放入馬弗爐中500℃烘烤幾小時 ，以去除這些褐色沉澱物 。
　　4 、接口–雙錐
　　(1)采樣錐和截取錐的清洗首選用棉棒蘸超純水輕輕擦拭錐的正反兩麵 ，再用超純水衝淨後晾幹使用 。注意清洗時控製力度 ，不能破壞錐孔 。
　　(2)洗淨後檢查錐孔的形狀和大小，觀察圓形錐孔是否變形 、是否光滑 ，同時注意錐孔尺寸大小 ，如果采樣錐孔徑超過1mm ，截取錐孔徑超過0.4mm ，則需要更換相應的錐 。
　　5 、冷卻水係統
　　(1)定期更換冷卻水 ，約每半年更換一次 ，同時滴加抑菌劑 。
　　(2)每年檢查一次水接頭 ，防止漏水 ，必要時及時更換。
　　(3)定期清理水循環的散熱器 ，三年左右檢查製冷量 。
　　6 、機械泵
　　每個月都應該檢查機械泵油 ，以保證泵油液麵處於最大 、最小刻度線之間 ，而且泵油顏色正常 、潔淨 。如果泵油髒了 ，需要及時更換以保證儀器始終能維持良好的真空狀態 。
　　7 、氣路係統的維護
　　(1)定期檢查外氣路 ，看是否有漏氣 。
　　(2)定期檢查內氣路 ，看是否有漏氣 。
　　(3)注意養成良好的用氣習慣 ：
　　開機前要確認氣瓶的壓力是否在正常範圍內 ，一般為0.6-0.8MPa 。
　　增壓閥當上機結束後要及時關閉 ，以免造成泄壓 。